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    吸物能力者攻略:单晶硅片

    单晶硅片
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    联系人: 谭先生
    所在城市: 辽宁省 锦州市
    详细地址: 经济技术开发区赤峰街3段1-5号
    电子邮件: [email protected]
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    传真: (86) 416 718 8277
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    详细信息  
    晶片规格
     
    生长方式 CZ 少子寿命
    (μs)
    P:≧15
    N:≧100
    导电类型 P / N 位错密度
    (Etch Pit Density) (/cm2)
    ≦3000
    掺杂物 硼 / 磷 边长
    (mm)
    Φ6":125±0.5 
    Φ6.5":125±0.5 
    Φ8":156±0.5
    单晶晶向
    (Degree)
    <100>±3 对角线长
    (mm)
    Φ6":150±0.5
    153±0.5
    Φ6.5":165±0.5
    Φ8":200±0.5
    电阻率
    (Ω.cm)
    P: 0.5~3, 3~6
    N: 0.5~3, 0.6~3.5
    片厚
    (μm)
    180±20
    氧含量
    (atoms / cm3)
    P:≦1X1018
    N:≦0.95X1018
    TTV
    (μm)
    ≦30
    碳含量
    (atoms / cm3)
    ≦5X1016 翘曲度
    (μs)
    ≦40
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